【芯路 冯锦锋 PDF】鸟上梧半导体产业内第

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本文节选自《芯路》

鸟上梧半导体产业 内第3章

的检测和修正，缺陷累积可能导致整片晶圆的失效。全球最著名的唱
圆检测设备专家是科天半导体 (KLA-Tencor) ，这一名字源于 1997
年的一次合并，KLA 专注于缺陷检测，Tencor 专注于测量，1997 年
两家公司合并成为 KLA-Tencor，在光学检测及量测领域一路狂奔，
成为该领域的全球第一。

芯片技术的核心就是微观加工。越往上游走，技术难度越大，行
业集中度越高。具体的芯片产品〈器件) 有成千上万种，芯片设计
企业也数以千计，各种加工制造企业全球也有近百家，但能做到在几
十纳米、甚至几纳米的尺度上加工芯片的设备公司，全球届指可数。
它们搜取丰厚的利润，并形成了对整个产业的影响力。

我国半导体产业发展到现在，一直都没有给设备和材料产业应有
的重视。近些年，全国各地兴建了几十条半导体产线，投资上万亿元
人民币，其中大部分都用于购买国外的设备和材料，不仅让欧美日企
业赚取大量超额利润，更重要的是使我国半导体产业的核心环节受制
于人。

目前，国内已有部分半导体工厂的制造工艺水平接近世界先进水
平，但主要还是依赖国外设备供应商，跟随国外的技术路线，无法实
现产业的自我闪代、持续升级和良性发展。这其中关键的缺失环节就
是我国几乎空白的半导体设备产业。

尽管我国半导体产业发展有其特殊性，但他山之石可以攻玉，通
过学习美国、欧洲、日本、韩国等国家和地区先进的半导体产业发展
经验和教训，掌握产业规律，对我国半导体产业发展政策制定有一定
益处。

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