光刻机的神奇世界：阿斯麦的崛起与挑战

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想象一下，两架时速 1000 公里的飞机高速并排飞行时，从一架飞机中伸出一根缝衣线，精准插入另一架飞机的针孔，难度会有多大？EUV 光刻机工作时的精度比这个还要高。

在阿斯麦园区里，所有进出的人，包括不久前来参观的韩国总统尹锡悦，都要穿上专门设计的工作服：这里容不得一点灰尘，空气洁净程度是医院手术室的 1000 倍。

只有这样的环境才能造出 。

成立于 1984 年的阿斯麦一开始就押注 ，这在当时只具备理论上的可能性。而生产光刻机的其他大厂，比如日本企业尼康和佳能，都不敢做这种豪赌。只有阿斯麦决定把这种机器商业化。

阿斯麦并不是只靠自己来做这事儿。它是 “外包” 思维的坚定践行者，有 5000 多家合作企业，遍布美国、日本、德国等工业强国。比如，机器的光学系统就交给德国著名企业蔡司负责，迄今建造的最大、功能最强的空间望远镜詹姆斯・韦布，同样由这家企业设计和生产。

这种 “外包” 让阿斯麦能够集中力量只做光刻机整体设计和组装，在其他厂家都失败的情况下造出 。他们的光刻机，最终使 7 纳米以下制程的芯片生产成为可能，给摩尔定律延长了至少 10 年的寿命 —— 根据摩尔定律，芯片内晶体管的数量，每两年会翻一番，芯片性能也会随之大幅提升。

但是，也因为这种 “外包” 机制，的很多技术基础掌握在美国、日本等国的企业中，其零件 55% 以上来自美国，这使美国有条件要求阿斯麦禁止对特定国家出口光刻机。

2023 年 10 月，曾经的巨头佳能发布了能生产 5 纳米芯片的光刻机，试图打破阿斯麦对先进光刻机的垄断，这台机器甚至有可能用来制造 2 纳米芯片。作为回应，同年 12 月，阿斯麦宣布把第一台能制造 2 纳米芯片的光刻机交付给合作伙伴英特尔。

光刻机行业久违地出现了硝烟味，继续做唯一的 “军火商”，并不容易。

格式引文:

《看天下》杂志编辑部 编著。看天下（2024 年第 10 期）. 看天下.2024:121.

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