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本文节选自《芯片战争余盛电子书》电子版:
5迫击炮和规模生产与杰伊。莱思罗普的通信,2021年。采访沃尔特。卡德韦尔,2021年。采访约验。高过,2021年。杰伊。莱思罗普和往姆斯。纳尔,“半导体构造”(SemiconductorConstruction),美国2890395A号专利,于1957年10月31日提交,1959年6月9日发布,https://patentimages.storage.googleapis.com/e2/4d/4b/8d90caa48db31b/US2890395.pdf。杰伊。莱思罗普,《钻石条例引信实验室的微电路光刻方法》(TheDiamond0rdinanceFuzeLaboratorySPhotolithographicApproachtoMicrocircuits),《IEEE计算史纪事》,第35卷,第1期,2013年,第48-55页。1958年9月1日,杰伊,沫思罗普驶入TI的停车场,开始他第一天的工作。“此时,杰克。基尔比在TI的实验室里度过的对未来有重大影响的夏日假期快要结束了。沫思罗普从朵省理工学院毕业后,与多伯特“诺伊斯共事过。他曾在美国政府实验室工作,负责设计一种近炸引3使81剖洲迪生汉人够在目标上方目动引侣。和仙章的工程师一样,他也在努力研制台面晶体管,但事实证明,这种晶体管很难小型化。贡有的制造工艺包括在半时体村类的某些吕位放轩特殊形状的站球,袋后使用闷用化学品腐蚀未履兰的部分。制造
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更小的晶体管需要更小的旺球,但控制这些出球的形状很困难,在通过显微镜观察其中一个品体管时,莱思罗普和他的助手一一化学家广姆斯,纳尔〈JamesNall1)有了一个想法:显微镜镜头可以拍摄一些小东西,让它们看起来更大。如果把显微镜颠倒过来,这些小东西看起来就更小。他们能用镜头把一个大图案“印”到钞上,从而在钳块上制作微型台面吗?相机公司柯达〈Kodak)出售了一种叫作光致搞乌莉的化学物质〈俗称“光刻胶”),这种物质在受到光照时会发生化学变化。杀四区普用疝迄的站记股浴在一半销上。接下来,他将显微镜题倒过来,用一个窍形图案上履普目镜,这样光线就只能罕过一个窍形区域。光线通过目鱼或照射息形图案当光线通过物镜聚焦到光刻胶涂层的锚上时,倒置的显微镜缩小了穗形图案的尺寸,形成了完美的微缩版。当交线申射到交刻胶层时,化学结构发生了改变,使其显影时能家深解,留下一个比任何一团手工量都要小得多的算形小孔,其形状也更精确。很快,莱思罗普发现他也可以通过添加一层超薄的铝,将锚与外部电源连接起来,从而印出“电线”。莱思罗普称这一过程为光刻。他生产的晶体管比以前小得多,直径只有0.1英寸,高度只有0.0005英寸。光刻技术使人们可以构想大规模生产微型晶体管。1957年,莱思罗普申请了这项技术的专利。随着军乐队的演奏,摆方为他的工作颁发了一枚奖章,并给了他25000美元的奖人金,他用这笔奖金给家人买了一辆纳什。兰布勒旅行车
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。哈格蒂和基尔比立即意识到,莱思罗普的光刻工艺比美国陆军给他的25000美元类金村值钱得多。“民长TI号”导弹计划需要数千块集成电路,阿波罗太空船需要数万块集成电路。而光和光刻胶可以解决大规丰于而全于,以手工埋接和导线无法解决的方式实现芯片制造的机酸化口小在TI实施莱思罗普的光刻工艺需要新材料和新工艺。柯达的光刻胶弓度不足以保证大规模生产,因此TI自己购买了离心机,并对柯达提供的化学品进行再加工。莱思罗普乘坐火车在美国各地寻找“手模”,这种掩模用于将精确的图案投射到履盖光刻胶的半导体品圆上。他最终得出结论,现有掩模公司的产品都没有足够的精度,因此TI决定自己制造掩模。基尔比的集成电路所需的硅片必须是超纯的,超出任何公司的销售品质范围。因此,TI也开始自己生产硅片。与杰伊。莱思罗普的通信,2021年。采访玛丽。安妮。波特,2021人当一切都标准化时,大规模生产才有效。通用汽车公司能够将许多标准的汽车零件用于所有从装配线上下线的雪佛兰。在半导体方面,像TI这样的公司,起少可检测册制造集成电路的原料是可符合准的工具。化学品中含有当时无法检测到的杂质,录度和压力的细微变化可人外的化学反应,投射光线的抢苞可人E被灰尘颗粒污染,一点杂质就可能使整批产品报废。唯一的改进方法是反复试验,TI组六了莪于次实验案评信和不同温度与化学物质组名对生产工艺的影响基尔比每周六都在TI的走克上路步,检查工程师的试验。所恰
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