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院/士/思/维中国科学院院士卷.卷一王阳元学习,探索”研究,创新王阳元二、创新是科学研究之魂回顾历史,人类社会的每一个重大进展都是在人的创造活动及其成果得到广泛应用的推动下完成的,社会发展的本质是创新.科研工作只有不断创新才有生命力。这是衡量科研开作成功与和否的一个标准,也是科研选题的一个原则;要做就一定要做出自已的特色。在选题时将科学推动与需求牵引紧密结合起来,这是可能导致创造性成果且有利于推广的途径之一。辩证地看,科学推动与需求牵引是相辅相成.互为补充的。随着新技术革命的推进,主要的技术创新机会越来越依赖于科学知识的发展,但科研项目的决策和组织都蕴涵着潜在的需求,两者是不可分割的。有关硅栅1024位MOSDRAM的研制,其应用背景是不言而喻的.在研制过程中，我们并不癌于对有关技术的探讨，而是对多晶硅薄膜和N沟道表面特性的控制这两个科学问题进行了深入研究,前者导致了有关多唱硅薄膜氧化特性和电学特性等方面的研究,提出了应力增强模型和迁移率的统一模型,在国际上引起了一定反响,并与美国著名的多唱肆薄膜研究专家Ted.Kamins博士合作,诞生了《多蝇硅薄膜及其在集成电路中的应用3-书;后者则发展到后来的MOS系统绝缘层物理及其界面物理的研究,获得了包括磷硅玻璃钝化度分析方法.MOS结构陷阱电荷分析方法等一系列创新成果，两者为发展MOS工艺与相关器件和电路提供了理论依据,促进了相关技术的发展。我在担任北京大学微电子所所长后,针对微电子技术的发展特点及其在国民经济中的应用,结合我国同情,与同事们一起,先后倡导或亲自参与建立了小尺寸器件及其可靠性.薄膜和集成电路互连.SOI器件与电路,多晶硅发射极超高速集成电路和微机电系统等

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6个研究方向.这些都是微电子技术发展的关键领域,有着广泛的应用前景。在每个领域的研究中,我们不仅开展技术.工程研究,还强调基础研究,提倡创新。倒如,有关MOS绝缘层陷阱电告的运动规律,与VLSI电路及器件可靠性直接相关,有着强烈的客观需要,而它本身又是一个复杂的物理问题,研究工作必须首先从物理上分析清楚,有一个较为清晰的物理网像,然后设计适当的测试方法,进而用数学方法将其分析定量化。小尺寸露件及其可靠性的研究正是立足创新,发明了一系列弛豫谱方法(包括OCRS.OVRS.SSRS等),从而获得了国家发明奖.而美国Motorola公司先进产品研究开发部也正是在疯读了我们发表的论文的基础上,提出与我们合作进行关于“预测电路寿命模型\"研究的.又如,关于SOVMCMOS器件与电路研究,我们曾3次更改研究方案,最终选择在最能发挥其优越性的空间应用及新结构器件方面,着重开展应用于空|67j院/士/思/维中国科学院院士卷.卷一王阳元学习,探索研究,创闻人4Yuanshisiwei王阳元间的低压、低功耗.抗辐射.抗单粒子事件的器件和电路研究,同时抓住衬底绝缘夹层这一物理特点,深入研究其机理,导致新结构器件的发展,并以此推动SOI技术在空间应用的新进展.两者相互促进,不断提高我们在SOI技术方面的研究水平。总之,在选择总体科研目标时,目光一定要放远一些,既要面向客观需要,又要提倡科学探索自由,只有两者的有机融合,才有可能获得创新成果,并最终实现创新成果的转化,成为推动生产力发展的强大力量.应用基础研究或基础研究带来的直接经济效益短期内可能很小,可它为以后新技术领域的发展商定了基础。对于发展中国家来说,加强基础研究是实行“跳妈战略”赶超

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世界先进水平的“捷径”。三、辩证的方法是打开成功之门的钥匙(一)系统研究,掌握本质针对客观实际需要开展系统的研究工作,必将有所发明.有所创造。只有整体地把握研究对象的一般性质,才有可能实现创新.如同作曲家把握旋律后再具体化到每个音符,数学家设想一个方程式时也是这样。创新不是对事物某个局部认识的修修补补，不是零敲碎打地解决问题,而是整体研究,深入掌握其物理本质,组织系统实验。感觉到了的东西,我们不能立刻理解它,只有理解了的东西才更深刻地感觉它\"”。关于多唱硅发射极晶体管的特性,国际上已经进行了广泛的研究,也已发表了许多论文,可做的工作似乎很少。然而通过仔细分析,我们发现现有理论并不能很好地和解释多晶硅发射极唱体管的温度特性,而温度特性恰恰是它的主要特点之一,在实际应用中有着重要作用。因此我们决定以此为突破口,从多蝇硅发射极的这一核心出发进行系统研究.多品硅的特征住于晶粒间界的存在,现有理论却忽略了多晶硅发射区与单品硅发射区之间的界面氧化层的两边界面态俘获截面与温度的关系。我们首次对此加以考虑,在前人的基础上提出了一个新的模型,成功地解释了不同情况下多品硅发射极晶体管的特性,特别是温度特性,自然地,它作为国际上几个重要模型之一而被引用另外,开展系统研究,运用理性思维,也会大大提高对机遇的敏感性,可以缩短整个研究进程。由于研究者对于研究对象有一个整体思路,尽管不太明确,但对于一些微不足道.看来似乎无用的线索,会意识到它的研究价值,对它进行深入研究,就可能捕提到机遇。科学发现的偶然性是寅于必然性之中的.可以说我在Berkeley大学做访问学者期间,发现磷挨杂对固相外延速率的增长作用,就是在研究团相外延生长SOI技术|68

原始思维原则

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